化学蚀刻机

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发布日期：2014/08/08
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详细介绍

本公司研发、生产的喷淋式水平传动高速蚀刻机，涵盖多项发明和使用新型专利技术，简介如下：

1、产线结构：
由三段不同蚀刻速率的蚀刻槽组成。高速蚀刻 –>
中速蚀刻 –> 辅助蚀刻 -> 水洗、烘干
2、药水特点：
高蚀刻速率：60微米/分（体系活化剂+安定剂）
低温，低挥发性。
准确分析药水消耗量，实现自动添加。
中低浓度、高蚀刻速率是本药水的最大特点。

3、设备特点：
1）高均匀性。通过高速，中速，辅助蚀刻技术，配合
高效过滤系统，悬浮颗粒吸附技术，以及特种喷淋
系统，达到均匀蚀刻之目的。
2）采用酸气冷凝回收技术。

3）安全性措施：
全密封结构，管中管安全结构，氢氟酸泄露侦测系
统，高效废气洗涤塔，确保生产安全性。

说明：

量产宽度：610mm（可扩展到680mm）
产能：200~230万片/月（４~6寸产品）
蚀刻因子：大于3(最高可达到5以上)
均匀性：610 * 610mm范围内，均匀性差异小于5%。