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江苏钇捷触屏科技有限公司
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化学蚀刻机

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本公司研发、生产的喷淋式水平传动高速蚀刻机,涵盖多项发明和使用新型专利技术,简介如下:

1、产线结构:
  由三段不同蚀刻速率的蚀刻槽组成。 高速蚀刻 –>  
  中速蚀刻 –> 辅助蚀刻 -> 水洗、烘干
2、药水特点:
 高蚀刻速率:60微米/分(体系活化剂+安定剂)
 低温,低挥发性。
 准确分析药水消耗量,实现自动添加。
 中低浓度、高蚀刻速率是本药水的最大特点。


3、设备特点:
1)高均匀性。通过高速,中速,辅助蚀刻技术,配合
   高效过滤系统,悬浮颗粒吸附技术,以及特种喷淋  
   系统,达到均匀蚀刻之目的。
2)采用酸气冷凝回收技术。


3)安全性措施:
   全密封结构,管中管安全结构,氢氟酸泄露侦测系
   统,高效废气洗涤塔,确保生产安全性。

说明:

量产宽度:610mm(可扩展到680mm)
产能:200~230万片/月(4~6寸产品)
蚀刻因子:大于3(最高可达到5以上)
均匀性:610 * 610mm范围内,均匀性差异小于5%。

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